硅基叉指電極微型探針臺(tái)KT-Z4019MRL4T  

電化學(xué)傳感器通過(guò)與被測(cè)目標(biāo)分析物發(fā)生反應(yīng)，并產(chǎn)生與目標(biāo)分析物濃度成比例的電信號(hào)來(lái)工作。典型的電化學(xué)傳感器由傳感電極和反電極組成，并有一個(gè)薄電解層隔開(kāi)。在環(huán)境監(jiān)測(cè)中，可以在電化學(xué)傳感器的電極之間生長(zhǎng)可與目標(biāo)分析物發(fā)生反應(yīng)并發(fā)生阻值變化的捕獲物，通過(guò)檢測(cè)捕獲物的電阻值變化，實(shí)現(xiàn)檢測(cè)環(huán)境中大部分有毒有害生物化學(xué)物質(zhì)的目的。電化學(xué)傳感器通常具有操作簡(jiǎn)單、儀器成本低等特點(diǎn)。除此之外，電化學(xué)傳感器可以與各種的微機(jī)電系統(tǒng)制造技術(shù)聯(lián)用，從而實(shí)現(xiàn)大規(guī)模的批量生產(chǎn)，并且可以實(shí)現(xiàn)小型化從而降低成本。
折疊編輯本段結(jié)構(gòu)
叉指電極結(jié)構(gòu)
        微間距的叉指電極是一種為常用的微間距電極結(jié)構(gòu)，它被廣泛的應(yīng)用于非破壞性測(cè)試、電子通訊、化學(xué)測(cè)試等多個(gè)領(lǐng)域。 一般來(lái)說(shuō)，不同的應(yīng)用領(lǐng)域?qū)τ诓嬷鸽姌O的形狀、幾何學(xué)尺寸、加工工藝、材料的選擇、建模分析、系統(tǒng)集成以及數(shù)據(jù)的分析都有不同的要求，因此對(duì)于不同的領(lǐng)域我們應(yīng)該區(qū)分對(duì)待。如圖所示，列出了幾種常見(jiàn)的叉指電極結(jié)構(gòu)，基本的結(jié)構(gòu)有圓形、矩形等，而每條叉指的形狀除簡(jiǎn)單的矩形外，也可有圓形或矩形突起。在這里，我們要根據(jù)環(huán)境監(jiān)測(cè)的具體要求，針對(duì)叉指電極的結(jié)構(gòu)形狀進(jìn)行分析說(shuō)明和終的結(jié)構(gòu)選擇，確定具體的設(shè)計(jì)參數(shù)根據(jù)微弱信號(hào)檢測(cè)的相關(guān)原理，在低頻信號(hào)測(cè)量時(shí)，電阻值越高，其相應(yīng)的電阻熱噪聲和閃爍噪聲也就越高，不利于信號(hào)的提取和檢測(cè)[1]。所以，可以通過(guò)減少敏感膜電阻值的方法，實(shí)現(xiàn)對(duì)氣體敏感傳感器的信號(hào)噪聲比的提高，從而減小噪聲對(duì)測(cè)量信號(hào)的干擾。根據(jù)電阻的計(jì)算公式，影響阻值變化的因素主要有電阻率、電阻長(zhǎng)度及橫截面積等。一般情況下，氣體敏感材料薄膜的電阻率較高，因此減小敏感膜電阻值的方法是增加敏感膜的厚度或者是增大敏感膜的寬長(zhǎng)比。但是，敏感膜的厚度太大會(huì)降低氣體敏感傳感器的響應(yīng)時(shí)間。因此，綜合考慮到響應(yīng)時(shí)間和信噪比，需要設(shè)計(jì)優(yōu)化氣體敏感傳感器中微電極的厚度和長(zhǎng)寬比。

硅基叉指電極微型探針臺(tái)KT-Z4019MRL4T 參數(shù)